產(chǎn)品名稱:HMDS預(yù)處理真空烘箱
產(chǎn)品型號:BD/HMDS-6210
更新時間:2024-12-12
產(chǎn)品特點:HMDS預(yù)處理真空烘箱主要用于半導(dǎo)體行業(yè),HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
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